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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8600系列

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:日立(Hitachi)
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簡單介紹:
日立SU8600系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡放大倍數(shù)20~2000000x,二次電子像分辨率0.6 nm@15 kV,是一款可大束流分析及長時間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場式場發(fā)射掃描電鏡。日立(Hitachi)場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8600系列原生支持雙顯示器,提供靈活、的操作空間??啥噙_(dá)6通道同時顯示與保存,實(shí)現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。
詳情介紹:
隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,電子顯微鏡進(jìn)入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場成像技術(shù),同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。
*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。
日立SU8600系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡特點(diǎn):
★高分辨成像
日立的高亮度電子源可力求了即使在低著陸電壓下,也可獲得高分辨的圖像。
★高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
★快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.
★自動化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
★靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器,提供靈活、的操作空間。6通道同時顯示與保存,實(shí)現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)。可以通過使用兩個顯示器來擴(kuò)展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。

日立SU8600系列場發(fā)射掃描電子顯微鏡規(guī)格:


機(jī)型

SU8600 系列

電子光學(xué)系統(tǒng)

二次電子像分辨率

0.6 nm@15 kV

0.7 nm@1 kV *

放大倍率

20 to 2,000,000 x

電子槍

冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽烘烤系統(tǒng)。

加速電壓

0.5 to 30 kV

著陸電壓 *

0.01 to 20 kV

探測器

(部分為選配項(xiàng))

上探測器(UD)

UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能

下探測器(LD)

頂探測器(TD)

TD能量過濾器

鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD)

半導(dǎo)體式背散射電子探測器 (PD-BSED)

新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)

陰熒光探測器(CLD)

掃描透射探測器(STEM Detector)

附件

(部分為選配項(xiàng))

導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)

軟件

(部分為選配項(xiàng))

EM Flow CreaterHD Capture( 40,960×30,720 像素)

樣品臺

馬達(dá)驅(qū)動軸

5軸馬達(dá)驅(qū)動(X/Y/R/Z/T

馬達(dá)驅(qū)動軸

X0~110 mm

Y0~110 mm

Z1.5~40 mm

T-5~70°

R360°

樣品室

樣品尺寸

大直徑:150 mm

*減速模式下

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