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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:日立(Hitachi)
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簡單介紹:
Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000采用肖特基發(fā)射電子槍,大束流可達(dá)到200 nA,適用于各種微納解析。Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、熒光分析等,接口設(shè)備可通過選配附件滿足多種特殊需求。
詳情介紹:
SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像,而且還可以同時(shí)接收多種信號。此外,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多優(yōu)良性能。
SU7000是一臺實(shí)現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。
接下來請欣賞SU7000帶來的多彩世界。
*圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖

Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000核心理念:
1.采用優(yōu)的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng),使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號,用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長,SU7000特新增了幾種探測器,還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000多可同時(shí)顯示和保存6通道信號。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的更大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
大型樣品觀察
低真空觀察
低溫觀察
實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備,觀察方法也是一應(yīng)俱全。
4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍,大束流可達(dá)到200 nA,適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、熒光分析等,接口設(shè)備可通過選配附件滿足多種特殊需求。

Hitachi日立場發(fā)射掃描電鏡SU7000規(guī)格:

項(xiàng)目

內(nèi)容

圖像分辨率

二次電子分辨率

0.8 nm/15 kV

0.9 nm/1 kV

放大倍率

202,000,000 x

電子槍

發(fā)射體

ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射)

加速電壓

0.130 kV (步進(jìn):0.01 kV

束流

200 nA

探測器

標(biāo)準(zhǔn)探測器

UD (上探測器)

MD (中探測器)

LD (下探測器)

選配探測器*1

PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器)

UVD(高靈敏度低真空探測器

低真空模式*1

樣品倉壓力范圍

5300 Pa

可使用探測器

PD-BSED, UVD, UD, MD, LD

馬達(dá)臺

馬達(dá)臺控制

5軸馬達(dá)驅(qū)動

移動范圍

X

0135 mm

Y

0100 mm

ZWD

1.540 mm

T(傾斜角)

-570°

R(旋轉(zhuǎn)角)

360°

樣品尺寸

大直徑:φ200 mm, 大高度:80 mm

顯示器*1

23英寸LCD 1,920×1,080, 支持雙屏

圖像顯示模式

全屏顯示模式

1,280×960像素顯示

單屏顯示模式

800×600像素顯示

雙屏顯示模式

800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2

四屏顯示模式

640×480像素顯示

六屏顯示模式*2

640×480像素顯示 *2

圖像數(shù)據(jù)保存

保存圖像尺寸

640×480、1,280×960、2,560×1,9205,120×3,840、10,240×7,680

選配附件

能譜儀(EDX

X射線波譜儀(WDX

電子背散射衍射(EBSD

陰熒光探測器(CL)

冷凍傳輸系統(tǒng)

各種功能樣品臺

*1為選配項(xiàng)。

*2支持雙屏顯示。

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